工艺冷却水系统是半导体、微电子等行业关键设备的间接冷却装置。分为开放系统和封闭系统。下面介绍工艺冷却水系统的组成、工作原理、系统特点及系统模式选择。

　　工艺冷却水的应用范围非常广泛，涉及工业生产的方方面面，包括半导体、微电子、工业冰箱、火力发电厂汽轮机排汽冷凝、大型中央空调、煤化工、石油化工厂、天然气管道冷却等场所。在许多产品或工艺生产环境中，需要洁净的车间，要求车间的温度和相对湿度常年保持在一定范围内。部分生产过程产生高热，工艺设备需要低温水降温，即使在冬季也是如此。为了满足这些要求，必须建立工艺冷却水系统，分为开式系统和闭式系统。

　　工艺冷却水系统由以下部分组成：水冷却器、泵、热交换器、水箱、过滤器和工艺设备。

　　1.冷水机组：为冷却水系统提供冷源。

　　2.水泵：给水加压，保证水在冷却系统中循环。

　　3.热交换器：该设备用于冷冻水系统和冷却水系统之间的热交换，从而将该系统负荷端产生的热量传递给冷冻水系统。换热器有很多种，包括管壳式、板式、板翅式和热管式等。相比较而言，板式换热器具有占地面积小，传热面积大的优点。考虑到半导体车间空间面积的成本特点，应选择占地面积小的设备，以节省土地面积和工程成本。

　　4.水箱：在开式系统中，水箱主要起供水作用。闭式系统水箱需要膨胀水箱，膨胀水箱有三个作用：一是包容和补偿系统中水的膨胀和收缩;二是给闭式循环水系统提供稳定的压力，可以稳定系统的压力;三、用作系统补给泵的指示，通常是膨胀水箱发出信号启动或关闭系统补给泵。

　　5.过滤器：过滤掉水中的固体颗粒和杂质，净化水源。

　　在工艺冷却水系统中，有两个相对独立的系统：冷冻水和冷却水。冷冻水由冷水机组提供，冷冻水与冷却水进行热交换，降低设备温度。通过水泵将水从生产设备抽至热交换器，通过控制冷冻水量来保证工艺冷却水的温度，然后通过过滤器送至生产线设备，再返回水泵，构成工艺冷却水的反复循环，冷却水直接返回到冷却器。